据杭州日报,近日,作为基地首批签约孵化项目之一,全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。在测试现场,浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着,一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试,电子显示屏上不断闪烁着实时参数。“这不是普通的机器,而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”团队负责人告诉记者,依托省重点实验室,这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。
“羲之”取名自书法家王羲之,“只不过我们的‘毛笔’是电子束,在芯片上刻写电路。”研发团队相关负责人介绍,这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节,它通过高能电子束在硅基上“手写”电路,精度达到0.6nm,线宽8nm,可灵活修改设计无须掩膜版,如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画,特别适合芯片研发初期的反复调试。
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