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李亚峰(先生)
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李亚峰 (先生)
钛靶,钛溅射靶;应用于装饰和功能 镀膜工业、平面显示工业、光数据存储工业 (光盘工业)光通讯工业、玻璃镀膜(建筑 玻璃和汽车玻璃)工业等行业.纯度是靶材的主要性能指标之,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。靶材的主要性能要求:纯度纯度是靶材的主要性能指标之,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很
靶材的主要性能要求:
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6", 8"发展到12", 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umic的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱 金属含量和放射性元素 含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
企业类型 | 私营有限责任公司 | 统一社会信用代码 | 91610301MA6XJ7YC55 |
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营业期限 | 2020-08-21 至 无固定期限 | 法定代表人/负责人 | 李新莉 |
注册资本 | 100万 | 注册地址 | 陕西省宝鸡市高新开发区马营镇郭家村三组10 |
组织代码 | MA6XJ7YC-5 | 登记机关 | 宝鸡市工商行政管理局高新开发区分局 |
经营范围 | 一般项目:金属材料制造;有色金属合金制造;有色金属压延加工;锻件及粉末冶金制品制造;有色金属合金销售;紧固件制造(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。 |
联系人 | 需求数量 | 时间 | 描述 |
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采购商 | 成交单价(元) | 数量 | 成交时间 |
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暂无购买记录 |
地区:深圳
主营产品:幕墙拉索张力测试仪,钢绞线张力测试仪,钢丝绳张拉力检测仪地区:北京
主营产品:演播室工程,移动导播系统,非线性编辑系统等地区:鹤壁
主营产品:促进剂,防老剂,防焦剂地区:上海
主营产品:展会,会议,商务服务