一、引言（学习蓝宝石衬底的用意及用处）

近二十年来,氮化镓基发光二极管取得了飞跃式发展,并实现了大规模的产业化生产。氮化镓基发光二极管由于其高效、节能、环保等优越性能,将取代现有_的白炽灯、荧光灯、卤化灯等而成为主流的固态照明工具。

然而,同质外延生长所需的高质量gan衬底的价格昂贵且远不能满足大规模生产的需求。现有_的外延衬底大部分仍是蓝宝石,由于蓝宝石与gan材料存在晶各失配和热失陪等缺点,这阻碍了gan晶体质量的提高,从而导致了gan的发光器件性能的进一步提高。大量研究表明,图形化蓝宝石衬底有_利于降低晶体的位错密度和应力释放,从而大大改善gan晶体的质量和gan的发光器件性能。

二、蓝宝石衬底的常规清洗方法

在正常的室温下,有_机_溶_剂 _超声清洗,以及加热条件下,丙酮 浸泡。

实施本发明的蓝宝石衬底清洗方法,取消了传统清洗方法中使用的三氯 乙烯试剂 _,减少了环境污染,避免人员中毒,在清洗过程中,使用超声波和加热清洗,可节省清洗时间,提高清洗效率和质量。工艺简单、操作方便,满足环保要求。

然而,使用超声波清洗机_清洗蓝宝石衬底,是利用了超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。

三、蓝宝石衬底清洗用超声波设备类型中的光学超声波清洗机_

深圳威固特vgt-1403fh为光学超声波清洗机_,设备共有_14个功能槽,配置有_循环过滤系统、有_机_溶_剂 _蒸馏回收系统、自动恒温系统、抛动系统、超声波清洗系统、抽风装置、环保液前处理系统、慢拉脱水、热风烘干等。设备采用环保型有_机_溶_剂 _洗涤、水溶_剂 _洗涤、纯水漂洗、离心烘干为环保型清洗机_。是蓝宝石衬底在清洗设备上值得首要考虑的。

四、深圳威固特vgt-1403fh光学超声波清洗机_的小部分结构配置是这此需了解的

热风烘干槽：

结构：每个烘干槽配置一套气缸

加热系统结构：

1、外置式不锈钢加热箱；

2、内设不锈钢加热管,功率12kw,配omron数显式温控系统,监控箱内热风温度,温控范围：～120℃。

ffu压风系统：

结构：在烘干槽正上方的机_架顶部设置一个ffu层流送风单元。由上往下吹风形成负压风,致使工件加热后附着物不易粘附。

功能：因慢拉槽液温较高,如无顶部的ffu压风,大量的水汽将往上腾,水气会再次附着于提出的蓝宝石衬底上；安 装ffu后,可在上方形成局部正压,大部分水气从缸面的抽气口抽走。

其实,也有_很多对干净后的蓝宝石衬底样品选择进行旋转吹干处理。深圳威固特的甩干机_的基本工艺操作流程简单概述下：

开机_—参数设置—装入样品—启动,执行工艺流程—启动,执行工艺流程—过程结束,取出样品。